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第两百五十六章:张一凡


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依据着错题集的试错能力,不断的调整着制备工艺的参数。

“金刚石制备的过程中,高甲烷浓度下,衬底表面会有大量的碳氢前躯体,并且迁移率低,台阶上碳氢前驱体的过饱和度高。”

“台阶上碳氢前驱体在迁移过程中,极易与其它碳氢前驱体发生团聚,并发生形核。”

“同时,在没有发生迁移或迁移少的位置,碳氢前驱体会并入到晶体内。”

“因此,随着甲烷浓度升高,最终会导致无规则的生长形貌。”

陈舟想到这,便在草稿纸上写到:

【当甲烷流量低,碳氢前驱体的扩散长度大于阶梯的宽度,那么梯层上吸附物质的过饱和度将低于形核所需的临界值。】

【在这种情况下,到达梯层上的碳氢前驱体会扩散到另一台阶,从而形成层流式生长,层流式生长可以产生单一的外延表面结果,适合制备单晶金刚石。】

【因此,在衬底已选定的前提下,适当的降低甲烷浓度能够有效抑制无规则生长,促进层流式生长,增加较高质量金刚石外延的生长时间和厚度。】

写完这段话,陈舟又回头看了一眼,在旁边写下了一个区间。

【2%~9%】

这是初步拟定的甲烷体积分数的是错区间。

同样的思路,同样的方法,陈舟确定了工作压力、微波功率和衬底温度的试错区间。

但是要在这一批区间里,找到最合适的那个参数,还是需要时间的打磨。

正如前面陈舟所想的那样,金刚石的制备工艺,本身是一个矛盾的问题。

它的生在速率会随着甲烷浓度,工作压力和衬底温度等等因素的增加而提高,但过高的甲烷浓度和衬底温度,又会降低金刚石的质量。

上午11点,张一凡和方结明这边把分析模型构建完成。

陈舟随手便把一个通过错题集试错出的数据参数甩给了两人,让他们通过分析模型再进一步分析。

分析模型可以初步得到当前数据参数的理论结果,算是对错题集试错的进一步验证。

再通过这个反馈信息,陈舟调整试错区间,用错题集再验证。

之后,再把数据交给张一凡和方结明。

就这样,三人之间的配合,越发的默契。

而金刚石制备工艺的改进,也正在解决预期的目标。

下午一点,陈舟三人经过短暂的休息,便又投入了后续的工作。 br />

陈舟有预感,今天应该能搞出来。


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